壓力傳感器是石化行業自動控制中使用最多的測量裝置之一。在大型的化工項目中,幾乎包含了所有壓力傳感器的應用:差壓、絕壓、表壓、高壓、微差壓、高溫、低溫,以及各種材質及特殊加工的遠傳法蘭式壓力傳感器。
幾乎石化行業對壓力傳感器的需求主要集中在可靠性、穩定性和高精度3個方面。其中,可靠性和許多附加需求,如,量程比、總線類型等,依賴變送器的結構設計、機械加工工藝水平和結構材料。壓力變送器的穩定性和高精度則主要由壓力傳感器的穩定性和測量精度保證。
與壓力變送器的測量精度相對應的是壓力傳感器的測量精度和響應速度,與
壓力變送器的穩定性相對應的是壓力傳感器的溫度特性和靜壓特性以及長期穩定性。石化行業對壓力傳感器的需求就體現在測量精度、快速響應、溫度特性和靜壓特性、長期穩定性4個方面。
微壓力傳感器是采用半導體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器,具有精度高、靈敏度高、動態特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優點。純單晶硅的材料疲勞小,采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期穩定性好。同時,
微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成,增加溫度補償精度,大幅提高傳感器的溫度特性和測量精度。
如果將2個微壓力傳感器集成,又可以實現靜壓補償,從而提高壓力傳感器的靜壓特性。如今,微壓力傳感器具有許多傳統壓力傳感器不具備的優點,能夠很好地滿足石化行業對壓力傳感器的需求。