高溫熔體壓力傳感器是壓力變送器,無傳動液,在高溫環(huán)境下使用(350°C)。
YD壓力傳感器的主要特點是,它們不包含任何傳輸流體。敏感元件,直接定位在接觸膜,實現(xiàn)通過微細加工技術(shù)在硅。微結(jié)構(gòu)包括膜和壓敏電阻的測量。敏感元件所需的最小撓度,使得它可以使用非常強大的力學。與傳統(tǒng)的
熔體傳感器相比,該工藝可達到15倍厚介質(zhì)壓力通過厚膜片直接傳送到敏感的硅元件。應(yīng)變傳遞微硅結(jié)構(gòu)(MEMS)工作。其工作原理是壓阻,YD系列的
高溫壓力傳感器采用壓阻原理。