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電容式、單晶硅和擴散硅壓力變送器的區別

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電容式、單晶硅和擴散硅壓力變送器的區別
壓力變送器從傳感器種類來講一般分為三種： 電容式、單晶硅、擴散硅。電容式可以做微壓，其他兩種只能做正常壓力。
他們的工作原理如下

1.電容式壓力變送器： 過程壓力通過兩側或一側隔離膜片，灌充液作用在δ元件(即敏感元件)內張緊的測量膜片上,測量膜片與兩側絕緣體上的電容極板各組成一個電容器,在無壓力通入或兩側壓力均等時測量膜片處于中間位置,兩個電容器的電容量相等.當兩側壓力不一致時,致使測量膜片產生位移,其位移量和壓力差成正比,這種位移轉變為電容極板上形成的差動電容.由電子線路把差動電容轉換成4-20mADC的二線制電流信號,壓力變送器和絕對壓力變送器的工作原理和差壓變送器相同,所不同的是低壓室壓力是大氣壓或真空。

2.單晶硅壓力變送器采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內。單晶硅壓力/差壓變送器(Monocrystalline Silicon Pressure Transmitter) 用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力，然后將其轉變成4-20mA HART電流信號輸出，也可與手操器相互通信，通過他們進行參數設定、過程控制。

3.另一種擴散硅壓力變送器是將測量膜片感受的力傳導到一個擴散硅傳感器，通過擴散硅傳感器的輸出來得出被測壓力。由于壓力不是作用在傳感器上而是加了一次傳遞，所以相對精度低一些，且擴散硅元件品質不一(多數變送器廠家不是自己生產擴散硅元件)導致質量差別很大。但是，但是價格可以很低。
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